지올, 새로운 인터치스코프 SEM 시리즈 ‘JSM-IT510’ 출시

지올(JEOL Ltd.)(도쿄 증권거래소: 6951)(사장 겸 최고운영책임자: 오이 이즈미(Izumi Oi))이 새로 개발한 주사 전자 현미경(SEM) 시리즈 ‘JSM-IT510’를 2021년 11월 출시한다고 발표했다.

제품 개발 배경

SEM은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의료, 생물학 등 다양한 분야에서 사용된다. 또 기초 연구에서 제조 현장의 품질 관리에 이르기까지 애플리케이션이 계속 확장되는 가운데 ‘에너지 분산형 X선 분광법(EDS)’ 스펙트럼과 같은 분석 결과 데이터와 SEM 촬영 데이터를 좀 더 쉽고 빠르게 입수할 수 있어야 한다는 목소리가 커지고 있다.

지올은 이런 수요를 해결하고 처리량을 늘리기 위해 JSM-IT510 시리즈를 개발했다. JSM-IT510 시리즈는 인터치스코프(InTouchScope™)의 운용성을 한층 발전시킨 제품군으로 새로운 ‘심플 SEM(Simple SEM)’ 기능을 더해 사람이 수행하던 일상적이고 반복적인 업무를 기기가 실행하도록 했다.

특징

1. 새로운 ‘심플 SEM’ 기능
사용자는 심플 SEM 기능을 활용해 SEM 이미지 입수 조건과 시야 조건을 선택할 수 있으며, 이후 SEM 이미지를 자동으로 입수할 수 있다. 따라서 일상적인 업무를 좀 더 효율적으로 수행할 수 있다.
2. 새로운 ‘저진공 하이브리드 보조 전자 검출기(LHSED)’
새로운 LHSED가 전자 신호와 광자 신호를 모두 수집해 저진공 상태에서도 S/N비가 높고 도형 정보가 개선된 이미지를 제공한다.
3. SEM 시스템과 EDS 시스템 통합
SEM과 EDS의 통합을 더 발전시킨 가운데 ‘라이브 맵(Live Map)’ 기능을 통해 관측 시야의 1차 맵을 실시간으로 디스플레이한다.
4. 새로운 ‘라이브 3D(Live 3D)’ 기능
3D 이미지를 즉각 구성하는 한편 SEM 관측을 수행해 불균형 정보 및 자세한 정보를 확보한다.
5. 실시간 분석 기능
임베디드 EDS 시스템이 이미지를 관측하는 동안 실시간 EDS 스펙트럼을 보여주기 때문에 1차 분석이 효율적이다.
6. 새로운 ‘스테이지 내비게이션 시스템 LS(Stage Navigation System LS)’ 기능
스테이지 내비게이션 시스템 LS는 기존 모델(200㎜x200㎜)보다 4배 큰 광학 영역 이미지를 획득할 수 있는 새로운 기능이다. 스테이지 내비게이션 시스템 LS를 통해 관측 샘플의 광학 이미지를 입수할 수 있으며, 해당 광학 이미지를 간단히 클릭하는 것만으로 원하는 관측 필드로 이동할 수 있다.
7. 제로매그(Zeromag)
제모매그 기능을 활용하면 샘플 조사가 그 어느 때보다 수월해진다. 광학 이미지나 홀더 그래픽(holder graphic)을 사용하는 여러 필드에서 촬영 영역 위치를 정확히 찾아내고 분석 지점을 지정할 수 있다.
8. 특성 X선 세대 깊이 디스플레이
샘플의 분석 깊이(참고)를 즉각 파악할 수 있다.
9. 스마일 뷰 랩(SMILE VIEW™ Lab)
스마일 뷰 랩이 이미지와 분석 데이터를 통합 관리할 수 있도록 지원한다. 수집된 SEM 이미지에서 1차 분석 결과에 이르는 모든 데이터의 보고서 작성을 빨리 끝낼 수 있다.

매출 목표
연간 200대

제품 URL: https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JNM-ECZL.html

JEOL Ltd.
3-1-2, 무사시노, 아키시마, 도쿄, 196-8558, 일본
오아이 이즈미(Izumi Oi), 사장 겸 COO
(종목 코드: 6951, 도쿄 증권거래소 제1부)
www.jeol.com

비즈니스와이어(businesswire.com) 원문 보기: https://www.businesswire.com/news/home/20211107005023/en/

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